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多弧离子镀膜设备真空腔体 设备配置:直径700X高800mm尺寸,立式单门 配备6套多弧离子阴极沉积系统,3路气体流量控制系统,一套直流磁控溅射系统,两套德国莱宝磁悬浮分子泵带插板阀 客户信息:欧洲斯洛伐克 客户应用:多弧离子工具镀膜